近日，TDK株式会社（下称“TDK”）宣布推出两款新的铜内电极压电执行器——COM30S5和COM45S5，其采用符合RoHS要求的锆钛酸铅 (PZT) 材料制成。

据介绍，新款元件采用TDK基于铜电极的HAS（高有效堆叠）技术，以无外壳封装的被动元件供货，实现了良好的动态范围、高力量/体积比和纳米级精度。比之其他技术，采用HAS技术的压电执行器性能更佳，湿度稳定性更好、使用寿命更长。

图源：TDK

两款新元件覆盖电压范围为-10至+180 V，额定位移在+160 V处达到，允许的表面温度范围为-40至+160°C，高度分别为30 mm和45 mm，横截面尺寸为5.2 mm x 5.2 mm，并且在160 V和730 N的预紧力条件下可实现55 µm (COM30S5) 和 83 µm (COM45S5) 的位移。

TDK透露，公司计划于2023年再推出另外三款执行器，以满足更广泛的应用要求。目前，这些执行器仅作为少量原型样品供应，尚未量产，具体包括高度为10 mm、位移量为16 µm的COM10S5；高度为27 mm、位移量为 47 µm的 COM27S3（带引线型）；以及高度为30 mm、横截面为7 mm x 7 mm、位移量为55 µm、推力高达2600 N的COM30S7。

此外，TDK也强调，公司压电执行器应用范围广，适合包括纳米级定位技术、工艺工程中液体和气体的高精度阀门控制，以及半导体制造等高端解决方案在内的诸多应用。